[发明专利]MEMS器件及其制造方法无效
| 申请号： | 200610119169.4 | 申请日： | 2006-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN101195471A | 公开（公告）日： | 2008-06-11 |
| 发明（设计）人： | 蒲贤勇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种MEMS器件和其制造方法以防止可动部件与基底表面发生粘连，在基底表面形成可动部件的支撑机构，并在基底表面形成防止粘连结构，所述结构层具有和所述支撑层表面连接的连接端和可移动端，在所述支撑层中具有至少一个防止粘连的支柱，所述支柱高于所述支撑层表面。本发明能够有效防止结构层与支撑层表面粘连现象的发生。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS器件，包括基底，在所述基底表面形成的支撑层，以及在所述支撑层表面形成的结构层，所述结构层具有和所述支撑层表面连接的连接端和可移动端，其特征在于：在所述支撑层中具有至少一个支柱，所述支柱高于所述支撑层表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610119169.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种调试下载设备
- 下一篇：具有抗菌及空气净化功能的复合板材的覆盖层
