[发明专利]缺陷检测方法与缺陷检测装置无效
| 申请号： | 200610121844.7 | 申请日： | 2006-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN1920539A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 小岛广一;金泽英祐 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/956;G01M11/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 缺陷检测方法，包括：拍摄具有同一重复图案的被检查物，取得图像的图像取得步骤；和对所取得的图像进行缺陷强调处理的缺陷强调处理步骤。缺陷强调处理步骤(ST3)具有：在摄像图像中依次选择检查对象点的检查对象点选择步骤(ST31)；和分别求得所选择的检查对象点的亮度值，与设置在其周围的多个比较对象点的亮度值之间的差值，选择各个亮度差数据中值最小者，作为上述检查对象点的缺陷强调值的缺陷强调值计算步骤(ST32)。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测方法，包括：拍摄具有同一重复图案的被检查物，取得图像的图像取得步骤；和对所取得的图像进行缺陷强调处理的缺陷强调处理步骤，所述缺陷强调处理步骤具有：检查对象点选择步骤，其在摄像图像中依次选择检查对象点；以及缺陷强调值计算步骤，其从所选择的检查对象点的亮度值中减去设置在其周围的多个比较对象点的亮度值，求出各个差值，选择各个亮度差数据中值最小者，作为所述检查对象点的缺陷强调值。
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