[发明专利]抛光垫及其制造方法无效
| 申请号： | 200610126354.6 | 申请日： | 2006-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN101134303A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 邱丞伟;庄千莹 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D17/00 | 分类号： | B24D17/00;B24D18/00;B24B29/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抛光垫及其制造方法，于抛光垫本体中具有一窗口镶嵌于其中，并且窗口与抛光垫本体之间具有化学键。其制造方法包括将一未固化的胶质放置于抛光垫模具中，将抛光垫材料注入模具中，并于抛光垫材料成型时，使该未固化的胶质固化形成窗口，并使得抛光垫材料与窗口间形成化学键，以得到具有防水窗口的抛光垫。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抛光垫，包括：一抛光垫本体；以及一窗口，其镶嵌于该抛光垫本体中，其中该窗口与该抛光垫本体之间具有化学键。
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