[发明专利]类金刚石碳硬质多层薄膜形成的物体和其制造方法有效
| 申请号： | 200610128589.9 | 申请日： | 2006-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN1927581A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 赤理孝一郎;太田安喜俊 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | B32B33/00 | 分类号： | B32B33/00;C23C14/34;C09K3/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘锴;段晓玲 |
| 地址： | 日本兵库*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种类金刚石碳硬质多层薄膜形成的物体，其包括基底、主要由类金刚石碳构成的类金刚石碳薄膜和在基底和类金刚石碳薄膜之间的中间层。类金刚石碳薄膜从基底侧依次由第一类金刚石碳薄膜和第二类金刚石碳薄膜构成。基于毫微级压痕试验，第一类金刚石碳薄膜的表面硬度为不少于10GPa至不多于40GPa，并且基于毫微级压痕试验，第二类金刚石碳薄膜的表面硬度为40GPa以上至不多于90GPa。根据所述结构，即使在从具有高硬度的材料如烧结碳化物至具有低硬度的铁基材料的各类基底上形成厚度不少于约3微米的在最外表面侧上包含高硬度DLC薄膜的DLC多层，除极好的耐磨性之外，能够确保对基底和DLC薄膜两者具有极好的粘合性。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 硬质 多层 薄膜 形成 物体 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种类金刚石碳硬质多层薄膜形成的物体，其包括：基底；主要由类金刚石碳构成的类金刚石碳薄膜；和在所述基底和所述类金刚石碳薄膜之间的中间层，所述类金刚石碳薄膜从所述基底侧依次由第一类金刚石碳薄膜和第二类金刚石碳薄膜构成，基于毫微级压痕试验，所述第一类金刚石碳薄膜的表面硬度为不少于10GPa至不多于40GPa。基于毫微级压痕试验，所述第二类金刚石碳薄膜的表面硬度为不小于40GPa至不多于90GPa。
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