[发明专利]抗蚀剂涂敷方法以及抗蚀剂涂敷装置有效
| 申请号： | 200610135688.X | 申请日： | 2006-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN1952781A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 吉原孝介;井关智弘 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种抗蚀剂涂敷方法，在一边以第一转速使被处理基板旋转，一边对被处理基板的大致中央处供给抗蚀剂液之后，将被处理基板的转速减速至比第一转速慢的第二转速或停止旋转，并且，在该减速过程中，越靠近第二转速或停止旋转越减小减速度，然后，将被处理基板的转速加速至比第二转速快的第三转速，来甩开残余的抗蚀剂液。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂涂敷 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1、一种抗蚀剂涂敷方法，其特征在于，包括：一边以第一转速使被处理基板旋转一边向被处理基板的大致中央处供给抗蚀剂液的工序；在停止抗蚀剂液的供给之后，将被处理基板的转速减速至比前述第一转速慢的第二转速或停止旋转，并且，在该减速过程中，越靠近前述第二转速或者停止旋转，越减小减速度的减速工序；和将被处理基板的转速加速至比前述第二转速快的第三转速，甩开残余的抗蚀剂液的工序。
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