[发明专利]带有管状阴极的溅射设备和这种溅射设备的操作方法无效
| 申请号： | 200610136160.4 | 申请日： | 2006-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN1986875A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 于尔根·亨里克;安德烈亚斯·索尔;安德烈亚斯·盖斯;费利克斯·布林克曼 | 申请（专利权）人： | 应用材料两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 曲莹;马高平 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有管状阴极的溅射设备以及操作这种溅射设备的方法。通过能够绕受容器缠绕的软线或软管向管状阴极提供动力、冷却液或其他介质。如果管状阴极完成了钟摆运动，所述线和/或管将缠绕到受容器上，或从其上松缠。所述管状阴极的钟摆运动优选为，所述管状阴极沿第一方向旋转某一第一角度，接下来，沿第二方向旋转某一第二角度，所述第二角度不同于所述第一角度。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 管状 阴极 溅射 设备 这种 操作方法 | ||
【主权项】：
1.一种带有真空室(1)和位于所述真空室(1)内的管状阴极(3)的溅射设备，其特征在于：旋转受容器(47)，可以将软传导线路元件(23-25，52-55)缠绕到其外部上，以及从其上可以将其松缠，连接元件(46)，所述软线路元件(23-25，52-55)利用其与所述旋转受容器(47)连接。
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