[发明专利]射频测试键结构

摘要

本发明提供一种射频测试键结构，包括基底、底部金属层与顶部金属层。基底上定义有狭长测试区域，底部金属层位于狭长测试区域内，且底部金属层具有容置开口，以暴露出部分的待测元件。顶部金属层为成片状的金属垫，位于狭长测试区域内的底部金属层上方，其中定义有至少二个信号垫区域与至少二个接地垫区域。信号垫区域与接地垫区域呈单行排列而平行于狭长测试区域。据此，本发明的射频测试键结构可设置在切割道中，并获得精确的测试结果。

主权项

1.一种位于切割道区域的射频测试键结构，包括：基底，该基底上定义有至少一个切割道区域；待测元件，位于该基底上的该切割道区域内，包括至少二个信号连接端与至少二个接地连接端；和至少二个金属层，位于该切割道区域内，该些金属层包括底部金属层位于该基底上方，与顶部金属层位于该底部金属层上方，该顶部金属层为成片的金属垫，其上定义有至少二个信号垫区域与至少二个接地垫区域，该些信号垫区域电连接至该待测元件的该些信号连接端，该些接地垫区域电连接至该待测元件的该些接地连接端，该些信号垫区域与该些接地垫区域呈单行排列而平行于该切割道区域，且该顶部金属层包括至少一个绝缘开口位于该些信号垫区域与该些接地垫区域之间以及该些信号垫区域彼此之间，使该些信号垫区域与该些接地垫区域分隔，并使该些信号垫区域彼此分隔。