[发明专利]具有可动导轨的真空传送装置有效
| 申请号： | 200610137735.4 | 申请日： | 2006-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN101045500A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 奥利弗·海梅尔;安德烈亚斯·伊什科;迪特尔·哈斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限责任与两合公司 |
| 主分类号： | B65G49/00 | 分类号： | B65G49/00;B65G49/05;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京华夏正合知识产权代理事务所 | 代理人： | 孙征 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于将基体传送通过真空腔的装置，特别是带有其上或该处可布置基体的基体承载架(1，100，200)的涂布机。所述基体承载架具有至少一个至少沿基体承载架的一侧延伸的导轨(7，107，207)，其特征在于，导轨被一个或少量几个间隔的支承(6，106，109)与基体承载架分隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 导轨 真空 传送 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于将基体传送通过真空腔的装置，特别是带有其上或该处可布置基体的基体承载架(1，100，200)的涂布机，其中，基体承载架具有至少一个至少沿基体承载架的一侧延伸的导轨(7，107，207)，其特征在于，导轨被一个或几个间隔的支承(6，106，109)与基体承载架分隔开。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料有限责任与两合公司，未经应用材料有限责任与两合公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610137735.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：根据DVD图像等级的电视控制装置及其方法
- 下一篇：一种治疗乳腺增生的药
