[发明专利]工作台组件,包含它的粒子光学设备及处理样品的方法

摘要

一种粒子光学设备，包括：第一源，用来沿第一轴线(A₁)产生第一照射束(E)；第二源，用来沿第二轴线(A₂)产生第二照射束(I)，第二轴线在束交叉点与第一轴线相交，第一和第二轴线(A₁，A₂)确定一个束平面。工作台组件(3)，它将样品安置在束交叉点(c)附近，此组件包括：可安装样品的样品台(21)；一组致动器，它实现样品台(21)沿以下方向的平动：基本平行于垂直束平面的X－轴线，平行于束平面的Y－轴线，和平行于束平面的Z－轴线，此X－轴线，Y－轴线和Z－轴线相互垂直且通过该束交叉点(c)。其特征是这组致动器安装成可实现：样品台(21)围绕基本平行于Z－轴线的旋转轴线(RA)旋转，和样品台(21)围绕基本垂直于Z－轴线的翻转轴线(FA)旋转，其中翻转轴线(FA)本身可以绕旋转轴线(RA)旋转。

主权项

1.本发明涉及一种工作台组件(3)，它将样品安置在参考点(c)附近，此组件包括：-可安装样品的样品台(21)；-一组致动器，它实现样品台(21)沿以下方向的平动：基本平行于垂直参考平面的X-轴线，平行于参考平面的Y-轴线，和平行于参考平面的Z-轴线，此X-轴线，Y-轴线和Z-轴线相互垂直且通过该参考点(c)。其特征是这组致动器安装成可实现：-样品台(21)围绕基本平行于Z-轴线的旋转轴线(RA)旋转，和-样品台(21)围绕基本垂直于Z-轴线的翻转轴线(FA)旋转，其中翻转轴线(FA)本身可以绕旋转轴线(RA)旋转。