[发明专利]一种包含两种极化方向压电薄膜的传感振动膜无效
| 申请号： | 200610144250.8 | 申请日： | 2006-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN101192644A | 公开（公告）日： | 2008-06-04 |
| 发明（设计）人： | 乔东海;郝震宏;汤亮;田静 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L27/20;B06B1/06;G10K13/00;H04R7/00 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种包含两种极化方向压电薄膜的传感振动膜，由由下至上的支撑层、下电极、压电薄膜和上电极组成；其特征在于，所述上电极包括相互分离的第一上电极和第二上电极，所述下电极为公共下电极，所述压电薄膜包括位于第一上电极正下方的第一压电薄膜区域，和位于第二上电极正下方的第二压电薄膜区域，所述第一压电薄膜区域与第二压电薄膜区域的极化方向相反，所述第一上电极和第二上电极分别作为整个振动膜的输入输出电极。本发明无需引出下电极，避免了刻蚀压电薄膜工艺，避免不同层跨接引线造成的断裂，提高器件的成品率；另外，本发明还能够提高传感振动膜的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 包含 极化 方向 压电 薄膜 传感 振动 | ||
【主权项】：
1.一种包含两种极化方向压电薄膜的传感振动膜，由由下至上的支撑层、下电极、压电薄膜和上电极组成；其特征在于，所述上电极包括相互分离的第一上电极和第二上电极，所述下电极为公共下电极，所述压电薄膜包括位于第一上电极正下方的第一压电薄膜区域，和位于第二上电极正下方的第二压电薄膜区域，所述第一压电薄膜区域与第二压电薄膜区域的极化方向相反，所述第一上电极和第二上电极分别作为整个振动膜的输入输出电极。
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