[发明专利]检测晶圆边缘洗边效果的装置及方法有效
| 申请号： | 200610147802.0 | 申请日： | 2006-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101206181A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 黎东明;边逸军;陈勇志;陈明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/952 | 分类号： | G01N21/952;G01N21/25;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种检测晶圆边缘洗边效果的装置。所述装置包括：用于放置晶圆的晶圆架；用于探测晶圆是否存在的光敏传感器；用于分辨晶圆边缘有无铜薄膜的颜色分辨光敏传感器；用于判断晶圆边缘洗边工艺是否成功并通知监测人员检测结果的可编程逻辑控制单元。本发明还提供了一种检测晶圆边缘洗边效果的方法：光敏传感器发出探测光探测晶圆架上有无晶圆；颜色分辨光敏传感器发射分辨光分辨晶圆边缘有无铜薄膜，并发送分辨信号；可编程逻辑控制单元接收并根据探测信号和分辨信号判断晶圆边缘洗边是否成功，并报告判断结果，从而避免了大量洗边失败的晶圆被送往后续的化学机械研磨工艺中，增加研磨难度。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 边缘 效果 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检测晶圆边缘洗边效果的装置，其特征在于，包括，晶圆架，用于放置晶圆；光敏传感器，用于向放置晶圆的平面发射探测光探测晶圆是否存在，并发送探测结果信号；颜色分辨光敏传感器，位于晶圆上有铜薄膜面的上方，用于通过接收向晶圆边缘发射的分辨光的反射光分辨晶圆边缘有无铜薄膜，并发送分辨结果信号；可编程逻辑控制单元，用于接收并根据探测结果信号和分辨结果信号判断晶圆边缘洗边是否成功，并报告判断结果。
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