[发明专利]集成电路元件、芯片及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200610149436.2 申请日: 2006-11-20
公开(公告)号: CN101192604A 公开(公告)日: 2008-06-04
发明(设计)人: 刘彦秀 申请(专利权)人: 联华电子股份有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L23/485;H01L23/522;H01L21/82
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种集成电路芯片的制造方法。此方法包括提供一基底,此基底以一护环区区分为一内部区域与一外部区域。在基底上的内部区域中形成多个电路构件。接着,再于整个基底上形成介电层,并在内部区域的介电层中形成一内连线,同时在外部区域的介电层中形成多个焊垫结构。然后,沿着基底的切割道切割,以形成多个芯片,各芯片的侧边裸露出焊垫结构。
搜索关键词: 集成电路 元件 芯片 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种集成电路芯片,包括:基底,该基底包括正面、背面,其中该背面与该正面相对应;多个电路构件与多个内连线位于该基底的正面上;以及多个焊垫,其包括多层导电层,至少位于该基底的一侧面,该侧面是由该正面的上表面延伸至该背面。
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