[发明专利]基于谐波共振方法的并行激光直接写入方法与装置

摘要

基于谐波共振方法的并行激光直接写入方法与装置属于激光直接写入方法与设备；本方法将汇合于二向分色镜的写入激光与检焦激光共同进入投影滤波系统、谐衍射物镜阵列，在基片表面分别形成曝光点组合点阵和检焦点点阵；曝光点组合点阵与载有基片的工作台联动控制，完成任意浮雕图形的曝光制作；检焦点点阵被基片反射，再次通过谐衍射物镜阵列、投影滤波系统、二向分色镜、λ/4波片、偏振分光棱镜后，反射进入离焦检测系统形成离焦信号，与计算机、调焦驱动系统共同作用完成调焦伺服；其装置配装二向分色镜和谐衍射物镜阵列；本发明可以实现同步调焦写入，提高衍射物镜的衍射效率。

主权项

1、一种基于谐波共振方法的并行激光直接写入方法，该方法包含以下步骤：①、由写入激光器和检焦激光器分别同步发出写入激光和线性偏振检焦激光；②、写入激光通过声光调制器的稳光调制、准直扩束系统的准直扩束后，再通过反射镜反射后射向空间光调制器，空间光调制器依据像素部，根据计算机发出的控制信号调制写入激光，然后射向二向分色镜；检焦激光经准直扩束系统的准直扩束后，再经偏振分光棱镜透射，经λ/4波片，射向二向分色镜；其特征是：③、汇合于二向分色镜的写入激光与检焦激光，共同进入投影滤波系统，经其放大、滤波后，投向谐衍射物镜阵列，再经谐衍射物镜阵列聚焦在基底表面分别形成曝光点组合点阵和检焦点点阵；④、曝光点组合点阵与载有基片的气浮工作台联动控制，完成任意浮雕图形的曝光制作；检焦点点阵被基片反射，再次依次通过谐衍射物镜阵列、投影滤波系统、二向分色镜、λ/4波片，射向偏振分光棱镜，再经偏振分光棱镜反射进入离焦检测系统形成离焦信号，与计算机、调焦驱动系统共同作用完成调焦伺服。