[发明专利]减压处理室内的部件清洁方法和基板处理装置有效
| 申请号： | 200610151435.1 | 申请日： | 2004-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN1931453A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 守屋刚;长池宏史;中山博之 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B08B7/02 | 分类号： | B08B7/02;B08B7/00;G01N21/49 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 为了使附着在减压处理室内的部件上的微颗粒飞散，清洁部件，采用将电压加在部件上，利用麦克斯韦应力使微颗粒飞散的方法；使微颗粒带电，利用库仑力飞散的方法，将气体导入减压处理室中，使气体冲击波到达附着有微颗粒的部件，使微颗粒飞散的方法；使部件温度上升，利用热应力和热泳动力，使微颗粒飞散的方法；或将机械振动给与部件，使微颗粒飞散的方法。另外，使飞散的微颗粒在较高压的气氛下被气体流夹带除去。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 处理 室内 部件 清洁 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种部件清洁方法，使附着在减压处理室的部件上的微颗粒飞散，其特征为，使所述减压处理室保持规定的压力，导入气体，使气体冲击波到达所述减压处理室内的部件，使附着在所述部件上的微颗粒飞散。
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