[发明专利]液晶显示器及其制造方法有效
申请号: | 200610156392.6 | 申请日: | 2006-12-29 |
公开(公告)号: | CN101097367A | 公开(公告)日: | 2008-01-02 |
发明(设计)人: | 金荣柱;李锡宇;朴秀婷 | 申请(专利权)人: | LG.菲利浦LCD株式会社 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1333;G02F1/133;H01L21/00;G03F7/20 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐金国;梁挥 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开一种液晶显示器及其制造方法。该制造方法包括制备限定像素部分的TFT区域的绝缘基板;在基板上形成有源层以覆盖像素部分的TFT区域;在有源层上形成像素部分的栅极;在有源层中位于像素部分的栅极两侧处形成像素部分的源区和像素部分的漏区;在具有像素部分的漏区的基板上形成具有第一接触孔和第二接触孔的钝化膜,所述第一接触孔和第二接触孔分别暴露像素部分的源区和像素部分的漏区;在钝化膜上顺序形成透明导电膜和金属膜;以及有选择地蚀刻所述金属膜和透明导电膜以形成顺序沉积以覆盖第一接触孔的像素部分的源极图案/像素部分的源极以及顺序沉积以覆盖第二接触孔的像素部分的漏极图案/像素部分的漏极。 | ||
搜索关键词: | 液晶显示器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种制造液晶显示器的方法,包括:制备限定有像素部分的TFT区域的绝缘基板;在基板上形成有源层以覆盖像素部分的TFT区域;在有源层上形成像素部分的栅极;在有源层中位于像素部分的栅极两侧形成像素部分的源区和像素部分的漏区;在具有像素部分的漏区的基板上形成具有第一接触孔和第二接触孔的钝化膜,所述第一接触孔和第二接触孔分别暴露像素部分的源区和像素部分的漏区;在钝化膜上顺序形成透明导电膜和金属膜;以及有选择地蚀刻所属金属膜和透明导电膜以形成顺序沉积以覆盖第一接触孔的像素部分的源极图案/像素部分的源极,以及顺序沉积以覆盖第二接触孔的像素部分的漏极图案/像素部分的漏极。
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