[发明专利]光学式异物检测装置和搭载有该装置的处理液涂布装置

摘要

本发明提供一种能以良好的灵敏度检测平面状基板的异常状态的光学式异物检测装置和搭载有该装置的处理液涂布装置。使以水平状态被载置在载物台上的被处理基板与具有沿上述基板的宽度方向延伸的狭缝状喷出开口的处理液供给喷嘴相对移动，将从处理液供给喷嘴呈带状喷出的处理液涂布在基板的表面。在相对于上述基板相对移动的处理液供给喷嘴的移动方向的前方，搭载有由投光部和受光部构成的光透过型传感器单元。上述传感器单元构成为：具有检测受光部的光束的受光输出是否为规定值以上的第一检测单元、和检测上述受光输出的单位时间的变化量是否为规定值以上的第二检测单元，根据上述第一检测单元和第二检测单元的检测输出的逻辑和，探测异物的存在。

主权项

1.一种光学式异物检测装置，具备：包括沿着被载置在载物台上的被处理基板的上面投射光束的投光部和接受所述光束的受光部的光透过型传感器单元；和通过使所述传感器单元相对于被处理基板相对移动，从而使得所述光束的光轴沿着被处理基板的上面平行地扫描的相对移动单元，其特征在于：具备：检测在所述相对移动单元的驱动状态下所述受光部的光束的受光输出是否为规定值以上的第一检测单元；和检测所述受光输出的单位时间的变化量是否为规定值以上的第二检测单元，根据所述第一检测单元和第二检测单元的检测输出的逻辑和，探测异物的存在。