[发明专利]操作真空沉积装置的方法和真空沉积装置

摘要

在长条状基材上沿其纵向沉积具有均匀厚度薄膜的沉积作业初步试验中，测量从沉积作业开始时的经过时间以及在该经过时间下电源的输出功率。并将所得到的经过时间和输出功率之间的关系储存在存储装置中。随后通过这样一种方法，在长条状基材上进行沉积，其中首先在沉积作业开始之前的预加热步骤中，使用晶体振荡器测厚仪，将该电源的输出功率控制稳定在期望值，然后驱动该基材输送装置，从而在获得期望的沉积速度之后，在该长条状基材上开始沉积作业。在开始该沉积作业之后，将电源的输出功率控制成与储存在该存储装置中的该经过时间下的输出功率相一致。

主权项

1.一种操作真空沉积装置的方法，其中在真空室内，利用加热装置加热来蒸发蒸发材料，从而使该蒸发材料沉积，并在由基材输送装置连续输送的长条状基材的表面上形成薄膜，该方法包括：设置用于监测沉积速度和薄膜厚度的检测装置、用于控制基材输送装置和加热装置的控制装置，以及存储装置；在长条状基材上沿其纵向沉积具有均匀厚度的薄膜的试验中，预先测量从沉积作业开始时的经过时间以及在该经过时间下加热装置的输出功率，并将所得到的经过时间和输出功率之间的关系储存在存储装置中；在用于稳定沉积作业开始之前的沉积速度的预加热步骤中，基于检测装置的检测结果，将加热装置的输出功率控制到期望值；在将沉积速度控制到期望值之后，驱动基材输送装置，开始长条状基材上的沉积作业；以及在开始沉积作业之后，控制加热装置的输出功率，使得该输出功率与储存在该存储装置中的该经过时间下的输出功率相一致。