[发明专利]有源矩阵显示基板制备方法有效
| 申请号： | 200610163748.9 | 申请日： | 2006-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101145564A | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 郭海成;王文;孟志国;张冬利;孙家鑫;朱秀玲 | 申请（专利权）人： | 香港科技大学 |
| 主分类号： | H01L27/12 | 分类号： | H01L27/12;H01L23/532;H01L29/786;H01L29/43;H01L21/84;H01L21/768;H01L21/336;H01L21/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;王忠忠 |
| 地址： | 香港九*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明采用简化流程制备出适用于液晶和有机发光二极管显示器的有源基板。主要包括采用铝硅替代工艺，制备低电阻交叉引线技术；采用铝硅替代工艺，制备低源漏电阻的高性能TFT技术；多晶硅象素电极技术；将以上多种新工艺巧妙地组合，整个制备流程只需三次掩模过程。与常规的多晶硅以及非晶硅的基板制备技术相比，减少了约一倍的流程，可有效地提高产品的成品率，降低成本，具有重要的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 有源 矩阵 显示 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.有源矩阵薄膜晶体管阵列，其中包括：●由一层金属形成的两层互连电极；●薄膜晶体管的源、漏、栅电极被金属部分或全部替代。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
