[发明专利]共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统

摘要

一种共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统，包括：一红外光源；一红外单色仪的输入端与红外光源的输出端相连接；一红外共焦显微系统位于红外单色仪输出光路上；一斩波限光单元位于红外共焦显微系统和三维微动平台之间，并位于红外单色仪的输出光路上；一三维微动平台位于红外单色仪的输出光路上；一样品致冷杜瓦固定在三维微动平台上；一前置放大器与样品致冷杜瓦相连接，起到对样品电信号的放大作用；一锁相放大器与前置放大器相连接；一控制计算机与锁相放大器和红外单色仪相连接，控制锁相放大器和红外单色仪实施测试过程，同时采集由锁相放大器和红外单色仪输入的数据信号。

主权项

1.一种共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统，其特征在于，该测量系统包括：一红外光源；一红外单色仪，该红外单色仪的输入端与红外光源的输出端相连接，起红外分光作用；一红外共焦显微系统，该红外共焦显微系统位于红外单色仪输出光路上，可得到待测样品的表面结构显微成像，同时使红外入射光聚焦于样品表面；一斩波限光单元，该斩波限光单元位于红外共焦显微系统和三维微动平台之间，并位于红外单色仪的输出光路上；一三维微动平台，该三维微动平台位于红外单色仪的输出光路上，处于红外共焦显微系统后端，可三维调节安装在其上的样品致冷杜瓦的位置，使样品处于最佳聚焦位置；一样品致冷杜瓦，该样品致冷杜瓦固定在三维微动平台上，对安放在其中的样品起到致冷和导出样品电信号作用；一前置放大器，该前置放大器与样品致冷杜瓦相连接，起到对样品电信号的放大作用；一锁相放大器，该锁相放大器与前置放大器相连接；一控制计算机，该控制计算机与锁相放大器和红外单色仪相连接，控制锁相放大器和红外单色仪实施测试过程，同时采集由锁相放大器和红外单色仪输入的数据信号。