[发明专利]一种石英材料零件的清洗方法有效
| 申请号： | 200610165561.2 | 申请日： | 2006-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101204706A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 朱哲渊 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B1/00;B08B3/08;B08B3/12;C11D1/68;C11D3/04;F26B5/00;F26B3/02;H01L21/00;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明;郭宗胜 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明所述的一种石英材料零件的清洗方法主要包括用机溶剂擦拭、用H2O2浸泡、在溶有过硫酸铵和非离子表面活性剂如聚乙二醇或甲氧基聚乙二醇等的溶液清洗，采用菜瓜布擦拭、再用超纯水超声清洗。且在以上清洗流程中，非超纯水清洗的步骤中都需要超纯水冲洗。是一种无损伤、快速有效的刻蚀机中石英部件表面的清洗方法。可以实现对石英材料零件的表面进行清洗，且该方法操作简便，对零件的表面损伤小或零损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 材料 零件 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1.一种石英材料零件的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：A、用有机溶剂擦拭零件表面；B、用质量含量比为1％～10％双氧水H202水溶液浸泡零件设定的浸泡时间；C、用低粗糙度的擦拭物在包括过硫酸铵(NH4)2S2O8和非离子表面活性剂的水溶液中擦拭零件的表面；过硫酸铵和非离子表面活性剂与水的质量百分比含量为：过硫酸铵 1％-5％非离子表面活性剂 1％-5％水 余量；D、将零件放入超声槽中，清洗设定的超声波清洗时间，进行超声波清洗。
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