[发明专利]薄膜图案制造装置及方法有效
| 申请号： | 200610168863.5 | 申请日： | 2006-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN101093349A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 金珍郁 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/004;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/28 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉;吕俊刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜图案制造装置及方法，其提高了利用抗蚀剂印刷法来形成薄膜图案的可靠性。该薄膜图案制造装置包括：辊形的印辊装置，其上缠绕有覆层；喷射装置，其位于所述印辊装置周围，用于向所述覆层喷射抗蚀剂溶液；以及具有雕刻形状的印板，其上形成有具有期望的薄膜形状的槽以及除该槽以外的突出部分，并且所述抗蚀剂溶液具有包含环氧乙烷氟化聚合物材料的表面活性剂。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 图案 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜图案制造装置，该薄膜图案制造装置包括：辊形的印辊装置，其上缠绕有覆层；喷射装置，其位于所述印辊装置周围，用于向所述覆层喷射抗蚀剂溶液；以及具有雕刻形状的印板，其上形成有具有期望的薄膜形状的槽以及除该槽以外的突出部分，并且其中所述抗蚀剂溶液包含至少一种表面活性剂，所述表面活性剂包含环氧乙烷氟化聚合物材料。
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