[发明专利]GaAs基半导体量子点激光器管芯质量的检测和分析方法无效
申请号: | 200610169748.X | 申请日: | 2006-12-28 |
公开(公告)号: | CN101212125A | 公开(公告)日: | 2008-07-02 |
发明(设计)人: | 梁凌燕;叶小玲;徐波;陈涌海;王占国 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/00 | 分类号: | H01S5/00;H01S5/343;H01L21/66;G01R31/26 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种GaAs基半导体量子点激光器管芯质量的检测方法,其特征在于,包含以下步骤:步骤1:将激光器管芯的引线焊接在样品架上;步骤2:调整样品架,使光垂直于激光器管芯腔面入射;步骤3:将样品架的引线接入光电流测量系统的电路,并确定激光器管芯处于反偏0V状态;步骤4:测量激光器管芯的光电流曲线;步骤5:调节外接电源的输出电压,使管芯的外接偏置电压按步长L增加;步骤6:检测信噪比,若发现信噪比明显变差,则停止测量,若没有则重复步骤4。 | ||
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【主权项】:
1.一种GaAs基半导体量子点激光器管芯质量的检测方法,其特征在于,包含以下步骤:步骤1:将激光器管芯的引线焊接在样品架上;步骤2:调整样品架,使光垂直于激光器管芯腔面入射;步骤3:将样品架的引线接入光电流测量系统的电路,并确定激光器管芯处于反偏0V状态;步骤4:测量激光器管芯的光电流曲线;步骤5:调节外接电源的输出电压,使激光器管芯的外接偏置电压按步长L增加;步骤6:检测信噪比,若发现信噪比明显变差,则停止测量,若没有则重复步骤4,若是停止测量。
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