[发明专利]一种电化学蚀刻液及蚀刻方法有效
| 申请号： | 200610172613.9 | 申请日： | 2006-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN101210340A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 秦学;陈梁;宫清 | 申请（专利权）人： | 比亚迪股份有限公司 |
| 主分类号： | C25F3/04 | 分类号： | C25F3/04 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤桐;吴德明 |
| 地址： | 518119广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种电化学蚀刻液，该蚀刻液为含有硫酸和磷酸的水溶液，其中，该蚀刻液中还含有表面活性剂。本发明提供的电化学蚀刻液以及蚀刻方法大大加快了蚀刻的速度，减少了侧蚀现象的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电化学 蚀刻 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电化学蚀刻液，该蚀刻液为含有硫酸和磷酸的水溶液，其特征在于，该蚀刻液中还含有表面活性剂。
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