[实用新型]一种离子源阴极、加热电子枪及弧室之间绝缘装置

摘要

本实用新型涉及一种离子注入机的长寿命离子源，属半导体器件制造领域，提出一种离子源阴极、加热电子枪及弧室之间绝缘装置，在一陶瓷绝缘块1上设置有用于弧室间定位的弧室间定位孔4、用于弧室间固定连接的弧室间连接孔5，设置有用于与热屏蔽板定位的热屏蔽板定位孔6，设置有灯丝杆固定孔2、用于左右灯丝杆固定，水平设置一个阴极与灯丝杆间爬电槽8，由所述爬电槽8左右对称位置向下，设置一个两灯丝杆间爬电槽3，在陶瓷绝缘块的两侧面上，沿垂直对称位置及所述阴极与灯丝杆间爬电槽8下方相应位置设置有一个门字形爬电槽，是灯丝与弧室间爬电槽9，结构紧凑，稳定可靠，抗高温耐腐蚀；结构连接操作方便；绝缘及防污染爬电性能好。

主权项

1.一种离子源阴极、加热电子枪及弧室之间绝缘装置，其特征在于：一陶瓷绝缘块(1)上设置有用于弧室间定位的弧室间定位孔(4)、用于弧室间固定连接的弧室间连接孔(5)，设置有用于与热屏蔽板定位的热屏蔽板定位孔(6)，设置有灯丝杆固定孔(2)，用于左右灯丝杆固定，水平设置一个阴极与灯丝杆间爬电槽(8)，由所述爬电槽(8)中心对称位置向下设置一个两灯丝杆间爬电槽(3)，在陶瓷绝缘块的两侧面上，沿垂直对称位置及所述阴极与灯丝杆间爬电槽(8)下方相应位置设置有一个门字形爬电槽，即灯丝与弧室间爬电槽(9)。