[实用新型]应用于离子注入机中的光纤连接系统无效
| 申请号： | 200620008185.1 | 申请日： | 2006-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN2914113Y | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 王迪平;谢均宇;孙勇;王玮琪 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/00 | 分类号： | G02B6/00;H04B10/12;C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种应用于离子注入机中的光纤连接系统，由主计算机通讯板，低电位光纤系统，高电位光纤系统和光纤组成，其中主计算机通讯板分别通过光纤与低电位光纤系统和高电位光纤系统连接。低电位光纤系统包括电位低的部件控制器，高电位光纤系统包括电位高的部件控制器，本实用新型采用通讯板，使得数据的传输和处理速度大为提高，达到384Kbit/s，采用高速串行光纤网络，各个控制器之间没有电气连接，也与电势高低无关，大大增加了系统的稳定性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 离子 注入 中的 光纤 连接 系统 | ||
【主权项】：
1、应用于离子注入机中的光纤连接系统，由主计算机通讯板，低电位光纤系统，高电位光纤系统和光纤组成，其特征在于主计算机通讯板分别通过光纤与低电位光纤系统和高电位光纤系统连接。
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