[实用新型]离子束传输控制系统无效
| 申请号： | 200620008186.6 | 申请日： | 2006-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN2913386Y | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 王迪平;罗宏洋;郭健辉;田小海;文超 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/54;H01J37/30;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子束传输控制系统，由离子束产生装置、离子束分析装置、测束杯离子束检测装置、离子束调整装置、靶室离子束检测装置、计算机控制系统组成，离子束产生装置产生的离子束流I0传输给离子束分析装置，分析后再进入测束杯离子束检测装置，检测分析离子束流的大小；然后进入离子束调整装置对离子束流I1进行品质优化，最后进入靶室离子束检测装置，检测最终获得的束流I2的大小，计算机控制系统与离子束产生装置、离子束分析装置、测束杯离子束检测装置、离子束调整装置、靶室离子束检测装置同时分别连接，对离子束流进行控制和参数调整。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 传输 控制系统 | ||
【主权项】：
1.离子束传输控制系统，由离子束产生装置、离子束分析装置、测束杯离子束检测装置、离子束调整装置、靶室离子束检测装置、计算机控制系统组成，其特征在于计算机控制系统的一端与离子束产生装置、离子束分析装置、测束杯离子束检测装置、离子束调整装置、靶室离子束检测装置依次连接，靶室离子束检测装置又与计算机控制系统的另一端相连接，离子束分析装置、测束杯离子束检测装置、离子束调整装置又分别与计算机控制系统相连接。
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