[实用新型]基于缩放通道结构的大气压放电冷等离子体发生器及阵列无效
| 申请号： | 200620022787.2 | 申请日： | 2006-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN200976707Y | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 李和平;包成玉;孙文廷;王华博 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H05H1/40 | 分类号： | H05H1/40;H05H1/50;H05H1/54;H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型属于大气压放电冷等子体发生器技术领域，其特征在于：在所述发生器内的进气口、或放电区、或出气口设有平板型的或回转型的缩放通道结构，从而构成平板型的或同轴型的大气压放电冷等离子体发生器，并相应提出了发生器阵列。所述的缩放通道结构由连接到进气口的压缩部、喉部、扩展部依次贯通形成，使在冷等离子体工作气体质量流量增加不多的情况下，发生器出口的冷等离子体射流速度有显著提高，从而大大提高冷等离子体射流中活性粒子的有效空间作用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 缩放 通道 结构 大气压 放电 等离子体 发生器 阵列 | ||
【主权项】：
1.基于缩放通道结构的大气压放电冷等离子体发生器，其特征在于，所述发生器是基于平板型缩放通道结构的平板型大气压放电冷等离子体发生器，含有：接有射频电源的一对电极，由上、下两块平板构成，该电极中间有支撑用的绝缘体；平板型缩放通道结构，形成于所述上、下两块平板之间，所述结构由同进气口相连的压缩部、喉部、扩展部依次贯通而成。
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