[实用新型]一种测量PN结电流的测试装置无效
申请号: | 200620040258.5 | 申请日: | 2006-03-16 |
公开(公告)号: | CN2938404Y | 公开(公告)日: | 2007-08-22 |
发明(设计)人: | 苏鼎杰;钱蔚宏;朱辉;赵芳芳 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544;H01L21/66 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 王洁 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种测量PN结电流的测试装置,P+端与电压源相连,N+端与电流测试仪器相连。有益效果是,由于检测电流端由现有技术的连接到P+变为连接到N+,使得从N+端测得的电流才是客户需要的准确的PN结电流,即i1,实质上解决了现有技术中二极管结漏电流大的缺陷。 | ||
搜索关键词: | 一种 测量 pn 电流 测试 装置 | ||
【主权项】:
1.一种测量PN结电流的测试装置,包括PN结,电压源和电流测试仪器,所述PN结为掺杂有不同浓度P掺杂和N掺杂的多种PN结,N+端和P+端之间存在电位差,其特征在于,P+端与电压源相连,N+端与电流测试仪器相连。
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