[实用新型]光集成芯片的自动测试系统

摘要

本实用新型光集成芯片自动测试系统，涉及自动测试技术领域。它提出了一个采用可编程逻辑控制器和微机控制的，带多路光纤探头的自动测试方案，可解决产品大批量生产时晶圆裸片自动检测的难点。可编程逻辑控制器用于控制由高速、高精度伺服电机组成的一个带真空吸盘，可作三维立体空间运动的裸片抓放机械手，一个可作二维平面运动的多路光纤光源探头，以及一个多路光纤信号探头，并能够测试各种不同光性能参数，如光功率，色散，偏振，损耗等。微机用于系统用户界面的操作，系统的网络通讯，测试数据的采集、计算、分析和处理，达到全自动化、高速、高精度和高效率的目标。该系统可广泛地应用于各类光集成芯片制造过程中晶圆裸片的自动检测。

主权项

1.一种光集成芯片自动测试系统，包括多路光纤探头，激光信号发生器，多功能光信号测试仪，机械手，高精度伺服电机，可编程逻辑控制器，以及微计算机，其特征在于：由带多路光纤探头的光学测试组件，带可编程逻辑控制器的运动控制组件和带微计算机的人机交互式用户界面，通讯和数据处理组件构成。