[实用新型]一种低熔点金属与背板的结构无效
| 申请号： | 200620045159.6 | 申请日： | 2006-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN200981892Y | 公开（公告）日： | 2007-11-28 |
| 发明（设计）人： | 程远达;余前春;夏黎海;丁亚强 | 申请（专利权）人： | 上海贺利氏工业技术材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 201108上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种低熔点金属与背板的结构，该结构包括低熔点金属坯料和背板，所述的低熔点金属坯料和背板呈上下叠放连接，所述的背板与低熔点金属坯料接触的一面设有规则或不规则的槽或沟。与现有技术相比，本实用新型增加了低熔点金属层与背板层间的接触面积，提高了靶材的粘接强度和冷却效果，相应提高溅射功率，从而提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 熔点 金属 背板 结构 | ||
【主权项】：
权利要求书1.一种低熔点金属与背板的结构，其特征在于，该结构包括低熔点金属坯料和背板，所述的低熔点金属坯料和背板呈上下叠放连接，所述的背板与低熔点金属坯料接触的一面设有规则或不规则的槽或沟。
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