[实用新型]一种热电偶丝穿线辅助工具无效
| 申请号： | 200620047809.0 | 申请日： | 2006-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN200972854Y | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 瞿丹红;吴协祥;曾繁中 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L35/34 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种热电偶丝穿线辅助工具。现有的热电偶丝穿线时因无任何辅助工具致使热电偶丝极易弯折从而使穿线过程困难甚至热电偶丝损坏。该热电偶丝穿线辅助工具包括基座及安装在该基座上的盖体，其中，该基座或该盖体至少一者的内表面上开设有贯通凹槽。采用本实用新型便于进行热电偶丝的穿线过程，避免由于热电偶丝弯折所造成的穿线困难和热电偶丝损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热电偶 穿线 辅助工具 | ||
【主权项】：
1、一种热电偶丝穿线辅助工具，其特征在于，该热电偶丝穿线辅助工具包括基座及安装在该基座上的盖体，其中，该基座或该盖体至少一者的内表面上开设有贯通凹槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
