[实用新型]一种光纤连接处功率自动检测装置无效
| 申请号： | 200620049446.4 | 申请日： | 2006-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN200989995Y | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 王健;孙刚;李琼 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B6/42 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型属于功率检测领域，具体公开了一种光刻系统中光纤连接处的激光功率自动检测装置。其设置在光纤与光纤连接盘连接处，包括Y型激光耦合器和光敏二极管，所述激光耦合器的输入端与光纤输出端相连，激光耦合器输出功率大的一个输出端与光纤连接盘的输入端相连，另一输出端与光敏二极管相连，所述激光耦合器的分束比与光敏二极管的功率放大倍数相适应。采用本实用新型检测装置不需拆下光纤即可得到检测结果，避免了人工操作存在的上述缺陷，提高了光刻机整体性能，可以实现光纤功率测量自动化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 连接 功率 自动检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光纤连接处功率自动检测装置，其设置在光纤与光纤连接盘连接处，其特征在于，包括Y型激光耦合器和光敏二极管，所述激光耦合器的输入端与光纤输出端相连，激光耦合器输出功率大的一个输出端与光纤连接盘的输入端相连，另一输出端与光敏二极管相连，所述激光耦合器的分束比与光敏二极管的功率放大倍数相适应。
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