[实用新型]双阻隔无油超净真空系统装置无效
| 申请号： | 200620072726.7 | 申请日： | 2006-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN2931847Y | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 陈荣发;赵毅红 | 申请（专利权）人： | 扬州大学 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14 |
| 代理公司： | 南京中新达专利代理有限公司 | 代理人： | 孙鸥 |
| 地址： | 225009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种双阻隔无油超净真空系统装置。本实用新型在机械泵、分子泵的气体回路上设置第一阻油器，在分子泵、被抽容器之间设置第二阻油器。本实用新型解决了现有技术存在的时间长、真空度降低、污染严重，影响高纯材料的合成与熔炼，难以达到要求。本实用新型中第一阻油器将机械泵返流的油蒸汽进行阻隔、收集，防止油蒸汽对真空系统管道、分子泵叶片的污染，第二阻油器将对已经进入分子泵泵腔的油分子进行再阻隔、收集，防止油蒸汽对被抽容器的污染。且结构简单，效果明显，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 阻隔 无油超净 真空 系统 装置 | ||
【主权项】：
1.双阻隔无油超净真空系统装置，有机械泵、分子泵、被抽容器，其特征在于在机械泵、分子泵的气体回路上设置第一阻油器，在分子泵、被抽容器之间设置第二阻油器。
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