[实用新型]匀胶显影机用机械手装置无效
| 申请号： | 200620090740.X | 申请日： | 2006-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN2901376Y | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 程金胜;于海川;张军;侯宪华;孟祥军 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源先进半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及轨道式匀胶/显影机中晶片的转移机构，具体为一种匀胶显影机用机械手装置。主轴外侧设有套筒，小齿轮II由旋转电机驱动，小齿轮II与大齿轮I通过皮带传动，大齿轮I通过连接部件与套筒固定，套筒上端与底板相连，主轴上部穿过底板，大齿轮II与主轴上部连接，支座置于底板上，大齿轮II与主轴上部连接，支座置于底板上，小齿轮I置于支座上，与机械手通过连接部件连接的小齿轮I与大齿轮II之间通过皮带传动。该机械手结构简单可靠而又合理，操作维修非常方便，且造价较低。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 机械手 装置 | ||
【主权项】：
1、匀胶显影机用机械手装置，其特征在于：包括主轴(2)、套筒(3)、大齿轮I(5)、大齿轮II(6)、底板(7)、机械手(8)、小齿轮I(12)、支座(13)、小齿轮II(14)、升降电机(19)、旋转电机(20)；主轴(2)外侧设有套筒(3)，小齿轮II(14)由旋转电机(20)驱动，小齿轮II(14)与大齿轮I(5)通过皮带(21)传动，大齿轮I(5)通过连接部件与套筒(3)固定，套筒(3)上端与底板(7)相连，主轴(2)上部穿过底板(7)，大齿轮II(6)与主轴(2)上部连接，支座(13)置于底板(7)上，大齿轮II(6)与主轴(2)上部连接，支座(13)置于底板(7)上，小齿轮I(12)置于支座(13)上，与机械手(8)通过连接部件连接的小齿轮I(12)与大齿轮II(6)之间通过皮带(10)传动。
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