[实用新型]大幅面激光标刻太阳能电池的装置

摘要

本实用新型公开了一种大幅面激光标刻太阳能电池的装置，属于非晶硅薄膜太阳能电池制造技术领域。所述大幅面激光标刻太阳能电池的装置，由电脑控制激光发生器和载物工作台，包括工作电源，冷却系统，其特征还包括电脑程序控制幅面为400mm－600mm激光振镜扫描系统；由电脑控制系统控制X－Y轴交联载物平台，在该平台上放置有待标刻的基片，所说基片的标刻区域是以X、Y轴向相邻的n×m个等份，该标刻区域范围为400mm～600mm×400mm～600mm。本实用新型不仅能标刻复杂图形，还提高了非晶硅薄膜太阳能电池产品的标刻速度和精度，生产效率高，成本低。

主权项

1.一种大幅面激光标刻太阳能电池的装置，由电脑控制激光发生器和载物工作台，包括工作电源，冷却系统，其特征还包括电脑程序控制幅面为400mm～600mm激光振镜扫描系统；由电脑控制系统控制X-Y轴交联载物平台，在该平台上放置有待标刻的基片，所说基片的标刻区域是以X、Y轴向相邻的n×m个等份，该标刻区域范围为400mm～600mm×400mm～600mm。