[实用新型]基于垂直位移扫描的非接触式表面形貌测量仪

摘要

本实用新型公开了一种基于垂直位移扫描的非接触式表面形貌测量仪，它由非接触式光学位移传感器、三维垂直位移扫描工作台和数字伺服聚焦装置组成，并与其他组件共同构建了整个闭环控制的非接触式表面形貌测量装置。本实用新型将聚焦物镜位置固定，通过移动工作台来测量数据，提高了测量的精度，同时采用光栅衍射得到干涉条纹，通过对干涉条纹的相移变化得到工作台垂直方向位移的测量数据，大大提高了测量精度。从而真正实现了高精度、大量程的非接触测量，并且具有速度快、性价比高的特点。本实用新型可对不同材料构件的轮廓尺寸、形状、波度及表面粗糙度的二、三维非接触式综合测量。

主权项

1.一种基于垂直位移扫描的非接触式表面形貌测量仪，它包括光学位移传感器、三维垂直位移扫描工作台和数字伺服聚焦装置，其特征在于：用于探测聚焦误差信号的光学位移传感器安装在三维垂直位移扫描工作台的上方，光学位移传感器的聚焦误差信号输入数字伺服聚焦装置，数字伺服聚焦装置输出控制信号至三维垂直位移扫描工作台的压电陶瓷和三个方向的驱动电机，在三维垂直位移扫描工作台上设有用于对工作台的垂直位移进行扫描和采集的衍射光栅位移传感器，衍射光栅位移传感器的信号输入数字伺服聚焦装置中的计算机。