[发明专利]掩模夹具的移动机构以及成膜装置无效
| 申请号： | 200680001554.7 | 申请日： | 2006-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN101090993A | 公开（公告）日： | 2007-12-19 |
| 发明（设计）人： | 片冈达哉;长尾兼次;齐藤谦一 | 申请（专利权）人： | 三井造船株式会社;株式会社日本微拓科技;长州产业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/04;H01L51/50;C23C14/12;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种第一掩模夹具(20)的移动机构，是用于制造有机EL元件的成膜装置中的第一掩模夹具(20)的移动机构，包括：夹头(16)，其与有机材料(12)的蒸发源(14)相对配置，使基板与掩模(34)重合；第一掩模夹具(20)，其将前端(20a)形成钩形，以所述前端部(20a)保持重合在夹头(16)上的掩模(34)；以及伸缩机构(22)，其使所述基板夹具(18)移动，其中，所述伸缩机构(22)，其第一伸缩机构(24)配置在装置本体(11)上，并且使进行伸缩动作的第一杆与板部件(23)连接，其第二伸缩机构(26)配置在所述板部件(23)上，并且使进行伸缩动作的第二杆与所述基板夹具(18)的基端部连接或接触。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具 移动 机构 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种掩模夹具的移动机构，其能够使配置在形成有机EL元件的基板的前面的掩模相对于所述基板进退，其特征在于，所述移动机构具备伸缩机构，该伸缩机构能够使保持所述掩模的所述掩模夹具多个阶段地进行移动。
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