[发明专利]检测传递到负载的RF功率以及该负载的复数阻抗的方法无效
| 申请号： | 200680001872.3 | 申请日： | 2006-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN101151542A | 公开（公告）日： | 2008-03-26 |
| 发明（设计）人： | 伊姆兰·艾哈迈德·布塔 | 申请（专利权）人： | 亿诺维新工程股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R23/16 | 分类号： | G01R23/16;G01R27/02 |
| 代理公司： | 北京嘉和天工知识产权代理事务所 | 代理人： | 严慎 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了检测负载的一种或更多种特性的方法系统。可以在射频(RF)功率发生器的输出处检测第一信号的一种或更多种特性。所述第一信号可以具有基频。可以以采样频率对所述第一信号的所述一种或更多种特性进行采样，以产生数字采样信号。所述采样频率可以基于所述第一信号的所述基频的函数被确定。可以从所述数字采样信号确定与所述RF功率发生器联通的所述负载的一种或更多种特性。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 传递 负载 rf 功率 以及 复数 阻抗 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检测负载的一种或更多种特性的方法，所述方法包括：在射频(RF)功率发生器的输出处检测第一信号的一种或更多种特性，其中所述第一信号呈现基频；以采样频率对所述第一信号的所述一种或更多种特性进行采样，以产生数字采样信号，其中所述采样频率是基于所述第一信号的所述基频的函数确定的；以及从所述数字采样信号确定负载的一种或更多种特性，其中所述负载与所述RF功率发生器联通。
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