[发明专利]测定有机物气体浓度的装置和方法无效
| 申请号： | 200680001995.7 | 申请日： | 2006-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN101103262A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 齐藤美佐子;林辉幸 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01N1/22 | 分类号： | G01N1/22;G01N30/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及测定有机物气体浓度的测定装置(2)，从处理系统内的目标空间引出目标氛围气体，测定其中有机物气体的浓度。装置(2)包括具有与目标空间连接的导入口的捕集容器(20)。排气系统(36)与捕集容器(20)连接。在捕集容器(20)内，收容有用于通过吸附有机物气体得到捕集有机物气体的捕集部件(22)。利用包括加热器(24)的温度调整机构，调整捕集部件(22)的温度，控制有机物气体的吸附/解吸。从载气供给系统(32)供给用于搬送从捕集有机物气体中取出的解吸气体的载气。利用浓度测定部(56)测定搬送解吸气体的载气中的有机物气体的浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 有机物 气体 浓度 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测定目标氛围气体中有机物气体浓度的装置，用于从处理系统内的目标空间引出目标氛围气体，测定其中有机物气体的浓度，其特征在于，包括：捕集容器，具有用于导入所述目标氛围气体而与所述目标空间连接的导入口；排气系统，用于通过排出所述捕集容器内的气体，将所述目标氛围气体引出至所述捕集容器内，并与所述捕集容器连接；捕集部件，用于通过吸附所述目标氛围气体中的有机物气体得到捕集有机物气体，并收容在所述捕集容器内；温度调整机构，通过调整所述捕集部件的温度，控制有机物气体的吸附/解吸，包括加热器；载气供给系统，将用于搬送通过对所述捕集部件进行加热而从所述捕集有机物气体中取出的解吸气体的载气，供给至所述捕集容器中；浓度测定部，用于测定搬送所述解吸气体的所述载气中的有机物气体的浓度，并与所述捕集容器连接；和控制部，控制所述装置的动作。
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