[发明专利]电路图案检查装置及其方法无效
| 申请号： | 200680002739.X | 申请日： | 2006-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN101107536A | 公开（公告）日： | 2008-01-16 |
| 发明（设计）人： | 羽森宽;山冈秀嗣;石冈圣悟 | 申请（专利权）人： | OHT株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以以单一的传感器单元检测导电图案的断路/短路的电路图案检查装置及其方法。当以非接触式检查被设在玻璃衬底3上成为行状的导电图案2是否良好时，将用以供给检查信号的供电部12，和用以检测该信号的传感器13配置成互相接近。利用此种构造，当传感器13位于没有断路状态的正常的导电图案上时，和传感器13位于有断路部位的导电图案上时，该传感器13检测到的检查电流的检测电平产生显著不同，所以可以准确地进行断路状态的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 电路 图案 检查 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电路图案检查装置，用来检查被配置在衬底的导电图案的状态，其特征在于具备有：信号提供装置，用来将检查信号提供到上述导电图案的一方端部的前端附近；检测装置，被配置在接近上述信号提供装置，可以检测来自于被提供有上述检查信号的导电图案的上述检测信号；识别装置，根据上述检测装置所检测到的检测信号的变化，来识别上述导电图案是否良好。
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