[发明专利]半导体器件和制造它的方法

摘要

本发明的目的是提供具有足以用作天线的导电膜的半导体器件，和制造它的方法。半导体器件具有设置在衬底上的包括晶体管的元件形成层，设置在元件形成层上的绝缘膜，和设置在绝缘膜上的用作天线的导电膜。绝缘膜具有槽。导电膜沿绝缘膜和槽的表面设置。绝缘膜的槽可被设置穿过绝缘膜。或者，可在绝缘膜中设置凹形部分以便不穿过绝缘膜。对槽的结构没有特殊限制，例如，可设置槽具有锥形形状等。

主权项

1.一种半导体器件，包括：设置在衬底上的包括晶体管的元件形成层；设置在元件形成层上的绝缘膜，其中在绝缘膜中设置槽；天线，包括电连接到晶体管上的导电膜；和设置在导电膜上的保护膜，其中导电膜设置在绝缘膜的至少槽上，使得具有凹形横截面形状。