[发明专利]制备显示器用阵列板的方法有效
申请号: | 200680003671.7 | 申请日: | 2006-02-01 |
公开(公告)号: | CN101111798A | 公开(公告)日: | 2008-01-23 |
发明(设计)人: | 金炳基;朴世炯;卞达锡;宋锡政;朴钟旼 | 申请(专利权)人: | 可隆株式会社 |
主分类号: | G02F1/136 | 分类号: | G02F1/136 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 陈平 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一种显示器用阵列通过如下步骤形成:将在支持膜上具有正性光致抗蚀剂树脂层的正性干膜抗蚀剂粘附到衬底上,使得光致抗蚀剂树脂层粘附在所述衬底的表面上。然后,将所述支持膜从粘附到所述衬底表面的光致抗蚀剂树脂层上释放;将所述层曝光;以及将在所述正性型光致抗蚀剂树脂层中的曝光区域显影并除去。 | ||
搜索关键词: | 制备 显示 器用 阵列 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于制备显示器用阵列的方法,所述方法包括:将在支持膜上具有正性光致抗蚀剂树脂层的正性干膜抗蚀剂粘附到衬底上,使得光致抗蚀剂树脂层粘附在所述衬底的表面上;将所述支持膜从粘附到所述衬底表面的光致抗蚀剂树脂层上释放;将所述层曝光;以及将在所述正性型光致抗蚀剂树脂层中的曝光区域显影并除去。
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