[发明专利]用于微柱的壳体有效
| 申请号： | 200680006079.2 | 申请日： | 2006-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN101128909A | 公开（公告）日： | 2008-02-20 |
| 发明（设计）人： | 金浩燮;金秉辰 | 申请（专利权）人： | 电子线技术院株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉;吕俊刚 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于微柱的壳体，其可以容易地对准和装配微柱，并提高微柱的稳定性。该壳体用于制造包括电子发射体、偏转器和透镜的微柱，该壳体包括：电子发射体保持器，在该电子发射体保持器中插入所述电子发射体；保持器底座，在该保持器底座中插入所述电子发射体保持器；以及与所述保持器底座连接的柱底座，从而可以通过插入到塞孔中的螺栓或凹头固定螺钉在X轴和Y轴方向上在所述电子发射体保持器与所述保持器底座之间对所述电子发射体进行对准和固定。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 壳体 | ||
【主权项】：
1.一种在微柱中使用的壳体，该微柱包括电子发射体、偏转器和透镜，所述壳体包括：电子发射体保持器，在该电子发射体保持器中插入所述电子发射体；保持器底座，在该保持器底座中插入所述电子发射体保持器；以及与所述保持器底座连接的柱底座，其中单独地装配所述电子发射体保持器、所述保持器底座和所述柱底座。
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