[发明专利]为测量系统确定队列匹配问题和根本原因要点有效
| 申请号： | 200680006151.1 | 申请日： | 2006-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN101460944A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 查尔斯·N·阿奇;小乔治·W·班克;埃里克·P·索利基 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G06F17/18 | 分类号： | G06F17/18 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 邸万奎;黄小临 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了用于确定正在测试的测量系统(MSUT)是否匹配包括至少一个其它测量系统的队列的方法、系统和程序产品。本发明实现了用于分析匹配问题的真实参数，包括单工具精度、工具对工具非线性、以及工具对工具偏差。然后，实现将这些参数组合为单值的底线工具匹配精度尺度。本发明还包括用于确定匹配问题的根本原因(s10)、以及用于确定队列测值精度尺度(s4)的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 系统 确定 队列 匹配 问题 根本原因 要点 | ||
【主权项】：
1、一种确定正在测试的测量系统(MSUT)是否匹配包括至少一个其它测量系统的队列的方法，该方法包括如下步骤：基于包括人工制品的MSUT测值与基准测量系统(BMS)对该人工制品的基准测值之间的斜率引起的偏移偏差(SISOffset)、以及对MSUT和BMS进行比较的线性回归分析的非线性(σnon-linearity)的参数组，来计算工具匹配精度(s1)；以及确定所述工具匹配精度是否满足匹配阈值(s2)，其中，在满足所述匹配阈值的情况下，视为所述MSUT是匹配的。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国际商业机器公司，未经国际商业机器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680006151.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
