[发明专利]自动化产能控制系统及其操作方法有效
| 申请号： | 200680006344.7 | 申请日： | 2006-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN101128786A | 公开（公告）日： | 2008-02-20 |
| 发明（设计）人： | G·弗拉赫;T·夸尔格 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种自动化产能控制系统及方法。通过在实体层级(entity level)上收集多个工艺工具的特定工具信息，而可在适度短的时间间隔中在高统计显著性的情形下计算适当的与产能相关的性能特性(performance characteristic)。此外，可将自工具信息得到的所述性能特性与诸如由动态仿真计算提供的参考数据比较，以便根据标准工艺管制机制而识别高性能以及低性能的设备。 | ||
| 搜索关键词： | 自动化 产能 控制系统 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
1.一种系统，包含：配置成自多个工艺工具(110，120，130)接收工艺信息的接口(101)；以及产能控制单元(102)，该产能控制单元连接到该接口，并且配置成为该多个工艺工具(110，120，130)的每一个工艺工具自动地决定与产能相关的性能特性。
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