[发明专利]抛光蓝宝石表面的组合物和方法无效
| 申请号： | 200680007081.1 | 申请日： | 2006-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN101511532A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 艾萨克·谢里安;穆凯什·德塞;凯文·莫根博格 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;C09K13/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋 莉;贾静环 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改进的组合物和抛光蓝宝石表面的方法。该方法包括用抛光浆液研磨蓝宝石表面，例如蓝宝石晶片的C面或R面表面，其中抛光浆液包含悬浮在含水介质中的研磨量的无机研磨材料例如胶体二氧化硅，其中该含水介质中溶解有盐化合物。该含水介质具有碱性pH，并包含足够量的该盐化合物，以便使蓝宝石除去速度高于在相同抛光条件下使用相同无机研磨剂在没有该盐化合物的情况下可获得的速度。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 蓝宝石 表面 组合 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种抛光蓝宝石表面的方法，包括用抛光浆液研磨蓝宝石表面，其中该抛光浆液包含悬浮在具有碱性pH的含水介质中的研磨量的无机研磨材料，并包括溶解在该含水介质中的蓝宝石除去速度提高量的盐化合物。
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