[发明专利]结晶性透明导电性薄膜、其制造方法、透明导电性薄膜及触摸面板有效
申请号: | 200680007188.6 | 申请日: | 2006-12-27 |
公开(公告)号: | CN101133463A | 公开(公告)日: | 2008-02-27 |
发明(设计)人: | 梨木智刚;野口知功;菅原英男 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B13/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李香兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种结晶性透明导电性薄膜,其主成分是相对于氧化铟和氧化锡的总量以9重量%以下的比例含有氧化锡的氧化铟锡,该结晶性透明导电性薄膜以0.45原子%以下的比例含有氮。本发明的结晶性透明导电性薄膜具有高电阻值且在高温、高湿环境下的可靠性也良好。 | ||
搜索关键词: | 结晶 透明 导电性 薄膜 制造 方法 触摸 面板 | ||
【主权项】:
1.一种结晶性透明导电性薄膜,其以相对于氧化铟和氧化锡的总量以9重量%以下的比例含有氧化锡的氧化铟锡为主成分而成,其特征在于,该结晶性透明导电性薄膜以0.45原子%以下的比例含有氮。
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