[发明专利]结晶性透明导电性薄膜、其制造方法、透明导电性薄膜及触摸面板有效

专利信息
申请号: 200680007188.6 申请日: 2006-12-27
公开(公告)号: CN101133463A 公开(公告)日: 2008-02-27
发明(设计)人: 梨木智刚;野口知功;菅原英男 申请(专利权)人: 日东电工株式会社
主分类号: H01B5/14 分类号: H01B5/14;H01B13/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李香兰
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种结晶性透明导电性薄膜,其主成分是相对于氧化铟和氧化锡的总量以9重量%以下的比例含有氧化锡的氧化铟锡,该结晶性透明导电性薄膜以0.45原子%以下的比例含有氮。本发明的结晶性透明导电性薄膜具有高电阻值且在高温、高湿环境下的可靠性也良好。
搜索关键词: 结晶 透明 导电性 薄膜 制造 方法 触摸 面板
【主权项】:
1.一种结晶性透明导电性薄膜,其以相对于氧化铟和氧化锡的总量以9重量%以下的比例含有氧化锡的氧化铟锡为主成分而成,其特征在于,该结晶性透明导电性薄膜以0.45原子%以下的比例含有氮。
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