[发明专利]一种流经式等离子体装置的操作方法无效
申请号: | 200680007732.7 | 申请日: | 2006-02-27 |
公开(公告)号: | CN101138282A | 公开(公告)日: | 2008-03-05 |
发明(设计)人: | C·沃格;P·萨格奈特 | 申请(专利权)人: | ASK空中技术股份公司 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王勇 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | 本发明涉及一种流经式等离子体装置的操作方法(1),以用来处理优选气体介质(3),该装置具有至少一个等离子体发生部件(2),优选的是串联的多个等粒子体发生部件(2A,2B),包括的步骤有:确定所述处理的或未处理的介质(3)的至少一个特性(C),并根据所述确定的特性(C),改变所述等离子体装置(1)的至少一个操作设定(S)。 | ||
搜索关键词: | 一种 流经 等离子体 装置 操作方法 | ||
【主权项】:
1.一种操作流经式等离子体装置(1)以处理优选气体介质(3)的方法,所述等离子体装置(1)至少有一个等离子体发生部件(2),优选的是串联的多个等离子体发生部件(2A,2B),所述方法包括步骤:至少确定所述处理的或未处理的介质(3)的一个特性(C);根据所述确定的特性(C),至少改变所述等离子体装置(1)的一个操作设定(S),其中所述的至少一种操作设定(S)的改变不是供给所述等离子体电极(6,7)的交流电流或电压的调制。
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