[发明专利]单一的直角端块无效
| 申请号： | 200680007963.8 | 申请日： | 2006-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN101137764A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | K·德拉尔特;W·德博斯谢尔;J·德贝维尔;G·拉佩尔 | 申请（专利权）人： | 贝卡尔特先进涂层公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/34 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 郭小军 |
| 地址： | 比利*** | 国省代码： | 比利时;BE |
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| 摘要： | 要求保护一种单一的直角端块，以用于在溅射装置中可旋转地承载靶材。该端块包括所有必须的装置，以通过壁或门中的单个开口从外部驱动、通电、支承和密封(冷却剂和气体)溅射装置中的靶材。该直角端块驱使靶材绕平行于靶材所安装的壁的旋转轴旋转。优选地，端块置于靶材之下，以便容许易于排出冷却剂。 | ||
| 搜索关键词： | 单一 直角 | ||
【主权项】：
1.一种端块，其用于在溅射装置中绕旋转轴可旋转地承载靶材，所述端块具有安装法兰，以用于将所述端块安装到所述溅射装置上，所述端块还包括驱动装置、可旋转的电接触装置、支承装置、冷却剂密封装置和真空密封装置，其特征在于，所述端块可安装成使所述旋转轴与所述法兰大致平行。
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