[发明专利]微小机械构造体无效
申请号: | 200680008131.8 | 申请日: | 2006-04-06 |
公开(公告)号: | CN101137923A | 公开(公告)日: | 2008-03-05 |
发明(设计)人: | 黑塚章;冨田浩稔;虫鹿由浩 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;B81B3/00;G11B7/135 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汪惠民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的微小机械构造体具有:基台(1);在基台(1)上形成的具有弹性的弹性支撑部(5);和由弹性支撑部(5)支撑、可以相对于基台(1)进行相对移动的可动部。该可动部具有:隔着第一空隙与基台(1)相对的可动电极(6),和通过垂直肋(7)固定在可动电极(6)上的镜(8)。 | ||
搜索关键词: | 微小 机械 构造 | ||
【主权项】:
1.一种微小机械构造体,其具有:基台;在所述基台上形成的具有弹性的弹性支撑部;和由所述弹性支撑部支撑,可以相对于所述基台进行相对移动的可动部,所述可动部具有:隔着第一空隙与所述基台相对的第一平板部;和具有连结部,并通过所述连结部固定在所述第一平板部上的第二平板部。
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